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防靜電 DLC 涂層是一種具有防靜電功能的類(lèi)金剛石碳涂層，以下是關(guān)于它的介紹：

原理

增加電子傳導(dǎo)通道：通過(guò)調(diào)整 DLC 涂層的成分或結(jié)構(gòu)，引入具有良好導(dǎo)電性的物質(zhì)或形成特定的微觀(guān)結(jié)構(gòu)，為電子提供傳導(dǎo)通道，使物體表面產(chǎn)生的靜電能夠快速傳導(dǎo)到其他部位，避免靜電積聚。

降低表面電阻：改變涂層表面的電學(xué)性質(zhì)，使表面電阻降低到一定程度，從而讓靜電能夠更容易地散逸。

性能特點(diǎn)

防靜電性能穩(wěn)定：可將靜電放電值（ESD）穩(wěn)定在一定范圍內(nèi)，如有的防靜電 DLC 涂層 ESD 平均值能達(dá)到 1e7ω/sq 以上。

兼具 DLC 涂層的優(yōu)良特性：具有高硬度，維氏硬度測(cè)試值通常在 5000-9000hv 之間，能有效抵抗磨損；低摩擦系數(shù)，可減少部件間的摩擦損耗；良好的化學(xué)穩(wěn)定性，能抵御酸、堿等化學(xué)物質(zhì)的侵蝕。

絕緣性可調(diào)節(jié)：通過(guò)工藝控制和成分調(diào)整，可使涂層在具有防靜電性能的同時(shí)，具備一定的絕緣性能，滿(mǎn)足不同應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)電學(xué)性能的要求。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)：用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備、晶圓承載器、夾具等，防止靜電對(duì)半導(dǎo)體芯片、電子元器件造成損害，保證生產(chǎn)過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

電子設(shè)備制造：如手機(jī)、電腦、平板等電子設(shè)備的外殼、內(nèi)部零部件，可防止靜電積累導(dǎo)致的電路故障、屏幕靜電吸附灰塵等問(wèn)題，提升設(shè)備的性能和可靠性。

光學(xué)領(lǐng)域：在光學(xué)鏡頭、顯示屏等表面涂覆，既能防靜電又能保護(hù)光學(xué)元件，減少灰塵吸附，提高光學(xué)性能和顯示效果。

醫(yī)療設(shè)備：醫(yī)療儀器、手術(shù)器械、醫(yī)療植入物等表面使用防靜電 DLC 涂層，可防止靜電對(duì)人體組織和電子元件的不良影響，同時(shí)利用其生物相容性和耐磨性等特性，提高醫(yī)療設(shè)備的安全性和使用壽命。

制備方法

物理氣相沉積（PVD）：如濺射法、電弧離子鍍等，將碳源物質(zhì)蒸發(fā)或?yàn)R射到基底表面形成 DLC 薄膜，通過(guò)控制工藝參數(shù)和添加特定元素，實(shí)現(xiàn)防靜電性能。

化學(xué)氣相沉積（CVD）：如等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD），在沉積過(guò)程中引入射頻等離子體，增強(qiáng)反應(yīng)活性，在相對(duì)較低的溫度下生長(zhǎng)出具有防靜電功能的 DLC 涂層。