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頭 條304不銹鋼工件沉積耐磨防腐 DLC涂層性能變化分析

納隆類金剛石碳基涂層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦系數等優異性能，被廣泛用作保護涂層。通過向 DLC 涂層中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高涂層的性質，而且還可以通過控制 Si 的摻入 量，沉積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜，而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑，以增強其抗腐蝕性能。