1、硬度及彈性模量。

類金剛石涂層（DLC），是一種四面非晶體碳,其sp3鍵含量為80%~90%，sp³與sp²鍵的比值較高，膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響， Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。

2、內應力和結合強度。

薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個重要因素，內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產生裂紋、褶皺，甚至脫落，所以制備的DLC膜最好具有適中的壓應力和較高的結合強度。大部分研究表明，直接在基體上沉積的DLC膜的膜基結合強度一般比較低，通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結合強度，在模具鋼上沉積DLC膜的結合強度達44N-74N，制備的膜導總體厚度可達5um。

3、摩擦性能
DLC膜不僅具有優異的耐磨性，而且具有很低的摩擦系數，一般低于0.05，是一種優異的表面抗磨損改性膜。DLC膜與傳統的硬質薄膜相比，在摩擦系數方面具有明顯優勢，這些傳統硬質薄膜的摩擦系數都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在許多摩擦學領域替代這些傳統硬膜。制備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達0.13-0.15的摩擦系數。

像微型機械驅動器具有運動的部分，如微型發動機、齒輪、軸承，在運行過程中會經歷表面的緊密接合。在微尺度下，粘性剪切力特別高，所以液態潤滑劑不再是降低摩擦的有效途徑。以Si為基礎的微型電動機、微型發動機僅能正常運行幾分鐘接著就會因為摩擦而導致崩潰。DLC涂層擁有很低的摩擦系數并且磨耗率(每單位滑動距離的磨耗量)也很低，使它們成為MEMS設備理想的固態潤滑劑。實驗階段的線性電動機，滑動件表面覆蓋了5~15nm厚的DLC層，延長了部件的使用壽命至(15~80）×106個周期。盡管大多數的MEMS馬達并不應用于腐蝕性的空氣環境中，但它們還是會通過物理吸附作用來接觸到外界腐蝕環境，這個過程則會使材料的摩擦耐磨性能產生相當大的波動。四面體非晶碳膜(ta-C)在這方面的表現比含氫非晶碳膜(a-C：H)優越，它們的摩擦系數在真空及干燥環境下較高，但卻在相當的范圍內表現得很穩定，即使在濕度增加的環境中也沒有顯著增加。

4、耐腐蝕性
純DLC膜具有優異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降，這是由于摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續性所致。